二次资源利用让难熔金属“熔炉中重生”

2019-03-27 14:57:01 来源: 中国科技网-科技日报 作者: 马爱平
难熔金属,


(图片来源网络)

中国科技网·科技日报北京3月26日电 (记者马爱平)钨、钽、铌、铼和钼……难熔金属在原子能、航空航天、电子信息和医学诊?#39057;?#28041;及国家安全和国计民生的高科技领域具?#23633;?#20026;重要的用途。但是,近10年来,世界钨工业所消耗的大部分钨资源来自中国,造成我国这类优质战略资源的储藏量大幅下降。

26日,记者从北京理工大学获悉,十年磨一剑,由北京理工大学、中国船舶重工集团公司第七一?#25628;?#31350;所、中国原子能科学研究院和昆明理工大学组成的项目团队,在基于二次资源利用的高端难熔金属产品研发及应用取得重大突破。

“通过应用基础研究与产业化,项目组打通了从回收废料,到电子级WF6气体、超高纯度钨零部件等产品的全链条产业化技术,突破了WF6高效氟化制取及纯化,高纯度钨靶材、钨加热体、异型钨坩埚的常压化学气相沉积制造,基于尾气利用的高纯度超细钨粉等离子化学法制备,副产物HF的F2/NF3和H2电解制取及其在WF6的制取和还原中的应用等关键技术。?#22791;?#39033;目组负责人北京理工大学教授谭成文说。

历经约10年努力,项目组研发出高纯WF6、超高纯钨靶材、离子注入机用高纯钨部件、高性能钨加热体、高纯异型钨坩埚等系列高端产品。

谭成文说,其中,高纯WF6纯度达99.999%,满足了半导体行业对于特种气体的高纯度要求,在英特尔、东芝、台积电、中芯国际等国内外知名半导体企业获得广泛应用,国内市场?#21152;新?0%,国际市场?#21152;新?#36817;25%,仅3年时间即实?#20540;?#19968;产品年产值过亿元,利润率大于20%。随着技术不断改进,产品在相关企业的用量大幅提高,打破国外垄断。超高纯钨靶材、离子注入机用高纯钨部件、钨加热体、异型钨坩埚纯度达99.999999%。

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责任编辑:符雪苑
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